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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0897440 (2010-10-04) |
등록번호 | US-8678734 (2014-03-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 41 |
A substrate processing apparatus is provided. The apparatus has a casing, a low port interface and a carrier holding station. The casing has processing devices within for processing substrates. The load port interface is connected to the casing for loading substrates into the processing device. The
1. A substrate processing apparatus comprising: a casing with a processing device within for processing substrates;a load port interface connected to the casing for loading substrates into the processing device;a carrier holding station connected to the casing, the carrier holding station being adap
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