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Laser beam positioning system

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/00
출원번호 US-0076231 (2011-03-30)
등록번호 US-8692151 (2014-04-08)
발명자 / 주소
  • Tertitski, Leonid M.
  • Kuttannair, Krishna Kumar
  • Hunter, Aaron Muir
  • Moffatt, Stephen
출원인 / 주소
  • Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Patterson & Sheridan, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 25

초록

A method and apparatus for targeting a beam of radiation is provided. A beam steering mirror and a beam capture mirror are movably disposed along an optical pathway. A controller moves the beam steering mirror and the beam capture mirror in an x-y plane, and rotates the mirrors, to target the beam t

대표청구항

1. An apparatus for thermally treating a semiconductor substrate, comprising: a rotatable substrate support;a radiation source capable of producing a beam of radiation having substantially uniform intensity proximate the rotatable substrate support, the beam of radiation emerging from the radiation

이 특허에 인용된 특허 (25)

  1. Tsukihara,Koichi; Tatsuki,Koichi, Beam irradiator and laser anneal device.
  2. Ellis, Gordon W.; Ichie, Koji, Confocal laser scanning transmission microscope.
  3. Downes ; Jr. George Richard, Constant path-length beam translating system and method.
  4. Matsui Takashi (Nara JPX), Containers for food service.
  5. Yoo Tae Kyung,KRX ; Jang Jun Ho,KRX, Device and method for machining transparent medium by laser.
  6. Stephenson Gerald H. (Swindon-Wiltshire IN GB2) Morgan Russell M. (Indianapolis IN), Device for producing a constant length laser beam and method for producing it.
  7. Sukhman, Yefim P.; Noto, Stefano J.; Kaufman, Cheryl, Laser beam positioning systems for material processing and methods for using such systems.
  8. Nomaru,Keiji, Laser beam processing machine.
  9. Tanaka, Koichiro; Yamamoto, Yoshiaki, Laser irradiation method and method for manufacturing semiconductor device including an autofocusing mechanism using the same.
  10. Erlenmaier, Werner; Keel, Urs, Laser machine tool with beam guide.
  11. Salzer Thomas E. (Bedford MA) Whitehouse David R. (Weston MA), Laser process apparatus.
  12. Maruyama Yoichi (Tokyo JPX), Laser processing apparatus.
  13. Kawakita,Masato; Ishii,Kouji; Numata,Shinji; Hirohashi,Kazuya, Laser processing method.
  14. Endo,Tadashi; Sato,Masahiro; Fujii,Koji; Nagayasu,Dokei; Watanabe,Mamoru; Goto,Yasuhiro; Ishino,Hisahide; Kotani,Kenshi; Kuriaki,Hiroyuki; Shimizu,Takashi, Light energy processing device and method.
  15. Unrath, Mark; Bruland, Kelly; Lo, Ho Wai; Swaringen, Stephen, On-the-fly beam path error correction for memory link processing.
  16. Bruland,Kelly; Vandergiessen,Clint; Grant,Keith; Swaringen,Stephen, On-the-fly laser beam path error correction for specimen target location processing.
  17. Clarke Donald A. (Windsor CAX) Reynolds Rodger L. (Windsor CAX) Pryor Timothy R. (Tecumseh CAX), Panel surface flaw inspection.
  18. Clarke Donald A. (Windsor CAX) Reynolds Rodger L. (Windsor CAX) Pryor Timothy R. (Windsor CAX), Panel surface flaw inspection.
  19. Holly Sandor (Falls Church VA), Process and apparatus for sensing defects on a smooth surface.
  20. Perrie Walter,GBX ; Modern Peter Julian,GBX, Radiation beam position sensor.
  21. Bashkansky Mark ; Duncan Michael ; Reintjes John, Rapid, high-resolution scanning of flat and curved regions for gated optical imaging.
  22. Chen, Nanguang; Zhu, Qing, Rotary mirror array for fast optical tomography.
  23. Cutler, Donald R., Simulated laser spot enlargement.
  24. Timans, Paul Janis, System and process for heating semiconductor wafers by optimizing absorption of electromagnetic energy.
  25. Beaman Joseph J. (Austin TX) McGrath Joseph C. (Calistoga CA) Prioleau Frost R. R. (Piedmont CA), Thermal control of selective laser sintering via control of the laser scan.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Hoffman, Charles N.; Leone, Christopher M., High-speed scanner-tracker.
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