$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Substrate container with fluid-sealing flow passageway 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65B-031/04
출원번호 US-0026336 (2008-02-05)
등록번호 US-8727125 (2014-05-20)
발명자 / 주소
  • Tieben, Anthony Mathius
  • Lystad, John
  • Halbmaier, David L.
출원인 / 주소
  • Entegris, Inc.
대리인 / 주소
    Christensen Fonder P.A.
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 33

초록

A substrate container includes an enclosure and an access structure formed in the enclosure and providing fluid access through the enclosure to an interior of the substrate container. The access structure includes an opening and an inner surface. A grommet is situated against the inner surface of th

대표청구항

1. A substrate container, comprising a container portion with an open side or bottom, a door to sealingly close the open side or bottom, one of the door and the container portion comprising a first access structure; and a first elastomeric grommet formed of elastomeric material, the grommet having a

이 특허에 인용된 특허 (33)

  1. Wu, Tzong-Ming; Su, Wu-Chen; Tsai, Sheng-Fu, Air vent plug arrangement having a mounting ring, a plug body, and a plug cap for securing the plug body to the mounting ring.
  2. Crockett Robert J. (Central SC), Apparatus for containing and supporting electronic components.
  3. Liang,Muh Wang; Huang,Chun Kai; Chen,Jiann Cherng; Wu,Tzong Ming; Hu,Ping Yu; Chen,Kuan Chou, Apparatus for loading/unloading wafers to and from semiconductor fabrication equipment.
  4. Maney George A. (Palo Alto CA) Faraco W. George (Saratoga CA) Parikh Mihir (San Jose CA), Box door actuated retainer.
  5. Haunhorst, Gregory A.; Vogel, Todd J.; Martin, Charles J.; Schwab, Chris L., Check valve for tire inflation system.
  6. Miyajima Toshihiko,JPX, Clean box, clean transfer method and apparatus therefor.
  7. Sanjiv M. Bhatt ; Shawn D. Eggum, Composite substrate carrier.
  8. Goodman John B. (Chanhassen MN) Mikkelsen Kirk J. (Chanhassen MN), Evacuated wafer container.
  9. Fosnight William J. ; Bonora Anthony C. ; Martin Raymond S. ; Tatro Jay, Evacuation-driven SMIF pod purge system.
  10. Reynolds Gerald D. ; Gallagher Gary M. ; Burns John ; Smith Mark V., Filter cartridge assembly for a gas purging system.
  11. Fosnight William J. ; Shenk Joshua W. ; Peterson Perry, Kinematic coupling compatible passive interface seal.
  12. Williams Randall S. (Chaska MN) Cheesebrow Nicholas T. (St. Paul MN), Mechanical interface wafer container.
  13. Brooks Ray G. (Irving TX) Brooks Timothy W. (Irving TX), Method and apparatus for maintaining sensitive articles in a contaminant-free environment.
  14. Brooks Ray G. ; Brooks Timothy W., Method and apparatus for maintaining sensitive articles in a contaminant-free environment.
  15. Brooks Ray G., Method and apparatus for packaging contaminant-sensitive articles and resulting package.
  16. Roberson ; Jr. Glenn A. ; Genco Robert M. ; Eglinton Robert B. ; Comer Wayland ; Mundt Gregory K., Molecular contamination control system.
  17. Fosnight William J. ; Shenk Joshua W., Passively activated valve for carrier purging.
  18. Dennis J. Krampotich ; D. Kerry Kiser ; Michael D. Peterson, Seal for wafer containers.
  19. Parikh Mihir (San Jose CA) Bonora Anthony C. (Menlo Park CA), Sealable transportable container having a particle filtering system.
  20. Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) Rosenquist Frederick T. (Redwood City CA), Sealable transportable container having improved latch mechanism.
  21. Shoji Kikuchi (Tokyo JPX), Semiconductor wafer container.
  22. Latulippe Michael L. (Derry NH), Sterilization and storage container tray including grommets.
  23. Sumi,Atsushi; Toda,Junya; Nakayama,Takayuki, Substrate storage container.
  24. Ejima Kazutoshi,JPX ; Hyobu Yukihiro,JPX, Thin-plate supporting container with filter means.
  25. Ejima Kazutoshi,JPX ; Hyobu Yukihiro,JPX, Thin-plate supporting container with filter means.
  26. Ejima Kazutoshi,JPX ; Hyobu Yukihiro,JPX, Thin-plate supporting container with unitary porous gasket.
  27. Elliott David J. (147 Rice Rd. Wayland MA 01778), Transport containers for semiconductor wafers.
  28. Nyseth David L. ; Krampotich Dennis J. ; Ulschmid Todd M. ; Bores Gregory W., Transport module.
  29. Baseman Robert J. (Brewster NY) Brown Charles A. (Los Gatos CA) Eldridge Benjamin N. (Hopewell Junction NY) Rothman Laura B. (South Kent CT) Wendt Herman R. (San Jose CA) Yeh James T. (Katonah NY) Zi, Vapor drain system.
  30. Foster Leonard W. (Richardson TX) Millis Edwin G. (Dallas TX), Vented vacuum semiconductor wafer cassette.
  31. Foster Leonard W. (Richardson TX) Millis Edwin G. (Dallas TX), Vented vacuum semiconductor wafer cassette.
  32. Yamashita Teppei (Ise JPX) Murata Masanao (Ise JPX) Tanaka Tsuyoshi (Ise JPX) Morita Teruya (Ise JPX) Kawano Hitoshi (Ise JPX) Okuno Atsushi (Ise JPX) Tsuda Masanori (Ise JPX) Hayashi Mitsuhiro (Ise , Wafer airtight keeping unit and keeping facility thereof.
  33. Nyseth David L., Wafer carrier.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Dougherty, David V.; Beresford, Ian J.; Curtiss, Donald E.; Chang, Thomas Y., Cassette configurations to support platters having different diameters.
  2. Dougherty, David V.; Beresford, Ian J.; Curtiss, Donald E.; Chang, Thomas Y., Cassette configurations to support platters having different diameters.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로