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특허 상세정보

Substrate container with fluid-sealing flow passageway

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B65B-031/04   
미국특허분류(USC) 206/711; 206/454; 206/832; 211/041.18; 414/217.1
출원번호 US-0026336 (2008-02-05)
등록번호 US-8727125 (2014-05-20)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Christensen Fonder P.A.
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 33
초록

A substrate container includes an enclosure and an access structure formed in the enclosure and providing fluid access through the enclosure to an interior of the substrate container. The access structure includes an opening and an inner surface. A grommet is situated against the inner surface of the access structure.

대표
청구항

1. A substrate container, comprising a container portion with an open side or bottom, a door to sealingly close the open side or bottom, one of the door and the container portion comprising a first access structure; and a first elastomeric grommet formed of elastomeric material, the grommet having an axis, the grommet retained in the access structure for providing fluid access to an interior of the substrate container, wherein the access structure defines an opening passing from interior the container to exterior the container, and wherein the access str...

이 특허에 인용된 특허 (33)

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  31. Foster Leonard W. (Richardson TX) Millis Edwin G. (Dallas TX). Vented vacuum semiconductor wafer cassette. USP1993065217053.
  32. Yamashita Teppei (Ise JPX) Murata Masanao (Ise JPX) Tanaka Tsuyoshi (Ise JPX) Morita Teruya (Ise JPX) Kawano Hitoshi (Ise JPX) Okuno Atsushi (Ise JPX) Tsuda Masanori (Ise JPX) Hayashi Mitsuhiro (Ise . Wafer airtight keeping unit and keeping facility thereof. USP1994045303482.
  33. Nyseth David L.. Wafer carrier. USP1998085788082.