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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0377606 (2010-04-19) |
등록번호 | US-8770141 (2014-07-08) |
우선권정보 | JP-2009-146778 (2009-06-19) |
국제출원번호 | PCT/JP2010/056928 (2010-04-19) |
§371/§102 date | 20111212 (20111212) |
국제공개번호 | WO2010/146928 (2010-12-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 13 |
A substrate coating device is provided which is capable of reducing non-uniform film thickness areas that take place in a coating start portion and a coating end portion during coating using a slit nozzle coater. The substrate coating device (10) includes at least a slider driving motor (4), a pump
1. A substrate coating device for forming a coating film of a fixed length on a surface of a plate-shaped substrate by scanning a slit nozzle over the substrate in one direction relative to the substrate while delivering a coating liquid from the slit nozzle, the substrate coating device comprising:
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