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Method and a device for depositing a film of material or otherwise processing or inspecting, a substrate as it passes through a vacuum environment guided by a plurality of opposing and balanced air bearing lands and sealed by differentially pumped groves and sealing lands in a non-contact manner 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-014/56
출원번호 US-0497531 (2006-08-02)
등록번호 US-8795769 (2014-08-05)
발명자 / 주소
  • Devitt, Andrew J.
출원인 / 주소
  • New Way Machine Components, Inc.
대리인 / 주소
    Volpe and Koenig, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 32

초록

A method and apparatus for coating and baking and deposition of surfaces on glass substrate or flexible substrate, such as films and thin glass sheets or other similar work pieces as it transitions thru and between small gaps of aero-static or hydro-static porous media bearings and differentially pu

대표청구항

1. A method for containing a substrate while passing the substrate through a processing chamber, the method comprising: (a) providing a plurality of vacuum chambers employing differentially pumped grooves that provide successive areas of lower pressure, the plurality of vacuum chambers defining a pa

이 특허에 인용된 특허 (32)

  1. Sogard Michael R. ; Spicer Denis F.,GBX, Air bearing operable in a vacuum region.
  2. Liedtke Rudolph J. (1004 Yorkshire Grosse Pointe Park MI 48230), Air bearing with porous outer tubular member.
  3. Hallahan Michael A. (Butler PA) Rearick Leroy F. (Butler PA), Air flotation assembly table.
  4. Hrtgen Johann (Nideggen-Schmidt DEX), Apparatus for contactless guiding of webs of material, in particular, metal strips, by means of a gas medium.
  5. Kim Woong Kwon,KRX, Apparatus for etching glass substrate.
  6. Krivts, Igor; Kotik, Eyal; Pinhasi, Eitan; Cafri, Hagay, Chamber elements defining a movable internal chamber.
  7. Maltby ; Jr. Robert J. ; Vild Michael J. ; Wetmore Kenneth H., Coated glass sheet.
  8. Tepman Avi ; Yin Gerald Zheyao ; Olgado Donald, Compartnetalized substrate processing chamber.
  9. Hunt, Andrew T.; Neilson, Wayne; Oljaca, Miodrag; Reardon, Edward J.; Hwang, Tzyy-Jiuan Jan; Danielson, Jr., William D.; Huggins, James D.; Bane, David E.; Campbell, Ian H.; Xue, Yibin, Continuous feed coater.
  10. Judge Robert L. (Poughkeepsie NY) Wutka Anthony D. (Burlington VT), Controls for semiconductor wafer orientor.
  11. Ostendarp Heinrich,DEX, Device for handling thin panes of glass and fragile work pieces.
  12. Rechav, Betsalel Tzvi; Vishnipolsky, Jimmy; Vinnitsky, Efim, Managing work-piece deflection.
  13. Itzkowitz, Herman, Megasonic treatment apparatus.
  14. Bok Edward (Badhoevedurp NLX), Method and apparatus for coating a substrate.
  15. Smick Theodore H. ; Ryding Geoffrey ; Farley Marvin, Method and apparatus for controlling a workpiece in a vacuum chamber.
  16. Ficker Walter W. (Fishkill NY) Lonser David E. (Light House Point FL) Rance William G. (Del Ray Beach FL) Stricker Alfred A. (Pompano Beach FL) von Kaenel Walter (Pompano Beach FL), Method and apparatus for locating and aligning flimsy sheets.
  17. Xu, Weilu Hang; Luong, Sam Vi; Shih, Yao-Tzung Roger, Method and apparatus for workpiece biassing utilizing non-arcing bias rail.
  18. Devitt Andrew J. (Media PA) Slocum Alex (Concord NH), Method for manufacturing externally pressurized bearing assemblies.
  19. McNestry, Martin, Method of handling lamina objects.
  20. Roberts Joseph A. (Hudson NH), Method of making high density self-aligning conductive networks and contact clusters.
  21. Park, Yong Seok; Han, Jum Lyul; Kim, Jeong Jin; Park, Byeong Hoo, Multi functional cleaning module of manufacturing apparatus for flat panel display and cleaning apparatus using the same.
  22. Paquet Volker (Mainz DEX) Ackermann Ulrich (Mainz-Gonsenheim DEX) Etzkorn Heniz-W. (Neu-Ansbach DEX) Kersten Ralf T. (Bremthal DEX) Rtze Uwe (Mainz DEX), Plasma CVD process using a plurality of overlapping plasma columns.
  23. Guggenberger Gunther,ATX, Process and device for one-sided treatment of disk-shaped objects.
  24. Kojima Gen,JPX ; Koyama Tsutomu,JPX ; Takada Akira,JPX ; Unoki Masao,JPX ; Matsumoto Kiyoshi,JPX, Process for forming a glass sheet.
  25. Hattori Hisashi (Tama JPX) Iwata Teruo (Nirasaki JPX) Sekizuka Hiroshi (Oome JPX) Kawauchi Yoichi (Ageo JPX) Fujisawa Hisao (Nakaminato JPX), Sealing device.
  26. Levin, Daniel; Yassour, Yuval, Self-adaptive vacuum gripping system.
  27. Slocum Alexander H. (Everett WA), Self-compensating hydrostatic linear motion bearing.
  28. Yokomatsu Takao (Yokohama JPX) Furukawa Motomu (Kawasaki JPX), Static pressure bearing.
  29. Adin, Raanan; Yassour, Yuval, System and methods for imaging employing a levitating conveyor.
  30. Ryding, Geoffrey; Smick, Theodore H.; Farley, Marvin; Sakase, Takao, Vacuum bearing structure and a method of supporting a movable member.
  31. Itzkowitz Herman (Montgomery PA), Wafer scrubbing device.
  32. Ekhoff, Donald L., Workpiece levitation using alternating positive and negative pressure flows.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Rice, Michael R.; Naftali, Ron; Schlimoff, Natan; Krivts (Krayvitz), Igor; Avneri, Israel; Uziel, Yoram; Rozenberg, Zvika; Admoni, Erez; Madmon, Yochanan, System and method for forming a sealed chamber.
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