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Techniques for bonding substrates using an intermediate layer 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-023/10
  • H01L-021/20
출원번호 US-0977890 (2010-12-23)
등록번호 US-8796109 (2014-08-05)
발명자 / 주소
  • Ruben, David A.
  • Sandlin, Michael S.
출원인 / 주소
  • Medtronic, Inc.
대리인 / 주소
    Mburu, Evans M.
인용정보 피인용 횟수 : 13  인용 특허 : 14

초록

A method includes depositing a thin film on a first surface of a first substrate and moving a second surface of a second substrate into contact with the thin film such that the thin film is located between the first and second surfaces. The method further includes generating electromagnetic (EM) rad

대표청구항

1. A method comprising: depositing a thin film on a first surface of a first substrate;moving a second surface of a second substrate into contact with the thin film such that the thin film is located between the first and second surfaces;generating electromagnetic (EM) radiation of a first wavelengt

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Pastel, Michelle Nicole Haase; Strines, Brian Paul, Mask and method for sealing a glass envelope.
  2. Hofmann, Alexander; Hierl, Stefan; Brunnecker, Frank, Method and apparatus for irradiation welding of two thermoplastic components.
  3. Kadowaki Akira (Mobara JPX) Itoh Shigeo (Mobara JPX) Kogure Youich (Mobara JPX) Tonegawa Takeshi (Mobara JPX), Method for sealedly forming envelope.
  4. Haisma Jan (Eindhoven NLX) Spierings Gijsbertus (Eindhoven NLX) Van Lierop Joseph G. (Eindhoven NLX) Van Den Berg Hendrik F. (Eindhoven NLX), Method of bonding together two bodies with silicon oxide and practically pure boron.
  5. Haisma Jan (Eindhoven NLX) Adema Cornelis L. (Eindhoven NLX) Alting Cornelis L. (Eindhoven NLX) Brehm Rudolf (Eindhoven NLX), Method of bonding two parts together.
  6. Taguchi Yutaka (Osaka JPX) Eda Kazuo (Nara JPX) Kanaboshi Akihiro (Osaka JPX) Ogura Tetsuyoshi (Osaka JPX) Tomita Yoshihiro (Osaka JPX), Method of processing a piezoelectric device.
  7. Srinivas Tadigadapa ; Chialun Tsai ; Yafan Zhang ; Nader Najafi, Micromachined fluidic apparatus.
  8. Park, Jin Woo, Organic light emitting display having a second frit portion configured to melt more easily than a frit portion.
  9. Lutz, Markus, SI wafer-cap wafer bonding method using local laser energy, device produced by the method, and system used in the method.
  10. Pichler,Karl; Frischknecht,Kyle D., Sealing of electronic device using absorbing layer for glue line.
  11. Haluzak,Charles C; Piehl,Arthur; Chen,Chien Hua; Shih,Jennifer, System and method for direct-bonding of substrates.
  12. Krupetsky, Dmitriy; Schmid, Anthony P.; Ludwig, Paul N., Tuned sealing material for sealing of a flat panel display.
  13. Enquist, Paul M.; Tong, Qin-Yi; Fountain, Jr., Gaius Gillman; Markunas, Robert, Wafer bonding hermetic encapsulation.
  14. Tracy C. Edwin (Golden CO) Benson David K. (Golden CO), Welding/sealing glass-enclosed space in a vacuum.

이 특허를 인용한 특허 (13)

  1. Ruben, David A; Sandlin, Michael S, Devices formed with techniques for bonding substrates using an intermediate layer.
  2. Ruben, David A; Sandlin, Michael S, Feedthrough assemblies.
  3. Logunov, Stephan Lvovich; Quesada, Mark Alejandro, Glass sealing with transparent materials having transient absorption properties.
  4. Logunov, Stephan Lvovich; Quesada, Mark Alejandro, Glass sealing with transparent materials having transient absorption properties.
  5. Ruben, David A, Hermetically-sealed packages including feedthrough assemblies.
  6. Ruben, David A; Sandlin, Michael S, Implantable medical device system including feedthrough assembly and method of forming same.
  7. Dabich, II, Leonard Charles; Logunov, Stephan Lvovich; Quesada, Mark Alejandro; Streltsov, Alexander Mikhailovich, Laser welding transparent glass sheets using low melting glass or thin absorbing films.
  8. Dabich, II, Leonard Charles; Logunov, Stephan Lvovich; Quesada, Mark Alejandro; Streltsov, Alexander Mikhailovich, Laser welding transparent glass sheets using low melting glass or thin absorbing films.
  9. Dabich, II, Leonard Charles; Logunov, Stephan Lvovich; Quesada, Mark Alejandro; Streltsov, Alexander Mikhailovich, Laser welding transparent glass sheets using low melting glass or thin absorbing films.
  10. Dabich, II, Leonard Charles; Logunov, Stephan Lvovich; Quesada, Mark Alejandro; Streltsov, Alexander Mikhailovich, Sealed devices comprising transparent laser weld regions.
  11. Ruben, David A; Schmidt, Craig L, Sealed package and method of forming same.
  12. Ruben, David A; Sandlin, Michael S, Techniques for bonding substrates using an intermediate layer.
  13. O'Brien, Richard J; Day, John K; Gerrish, Paul F; Mattes, Michael F; Ruben, David A; Grief, Malcolm K, Wafer-scale package including power source.
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