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Workpiece support structures and apparatus for accessing same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/90
출원번호 US-0337028 (2011-12-23)
등록번호 US-8800774 (2014-08-12)
발명자 / 주소
  • Bonora, Anthony C.
출원인 / 주소
  • Brooks Automation, Inc.
대리인 / 주소
    Martine Penilla Group, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 5  인용 특허 : 26

초록

The present invention comprises a workpiece container for storing at least one workpiece having a bottom surface and a peripheral edge. In one embodiment, a workpiece support structure is located within the container enclosure, which forms multiple vertically stacked storage shelves within the enclo

대표청구항

1. A substrate container for storing at least one substrate, comprising: a container door for access into an inner region within an enclosure of the substrate container; anda housing assembly for encompassing a substrate, the housing assembly having: a plurality of side walls defining the enclosure,

이 특허에 인용된 특허 (26)

  1. Babbs Daniel A. ; Schultz Richard E., Aligner for a substrate carrier.
  2. Chung Bin (Nashua NH) Mackay Bruce E. (Framingham MA) Podobnik Ivan Zlatko (Nashua NH), Carbon black containing EPDM compositions and process for producing same.
  3. Larry S. Wingo, Long tooth rails for semiconductor wafer carriers.
  4. Bonora Anthony C. ; Fosnight William J. ; Swamy Krishna D. ; Davis Mark R. ; Cookson Mike, Method for in-cassette wafer center determination.
  5. Pfeiffer Ken ; Verdict Greg, Modular substrate cassette.
  6. Glenn A. Roberson, Jr. ; Robert M. Genco ; Robert B. Eglinton ; Wayland Comer ; Gregory K. Mundt, Molecular contamination control system.
  7. Wartenbergh Robert P., Pivoting side handles.
  8. Shultz Richard E., Programmable substrate support for a substrate positioning system.
  9. Quernemoen Daniel R. (Chaska MN), Reinforced carrier with embedded rigid insert.
  10. Fosnight William J. ; Martin Raymond S. ; Shenk Joshua W. ; Wartenbergh Robert P., SMIF container including a reticle support structure.
  11. Smith, Mark V.; Wartenbergh, Robert P.; Pennybacker, William P., SMIF container including an electrostatic dissipative reticle support structure.
  12. William J. Fosnight ; Anthony C. Bonora ; Raymond S. Martin ; Perry Peterson, SMIF pod including independently supported wafer cassette.
  13. Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) Wartenbergh Robert P. (Woodside CA) Jain Sudhir (Fremont CA) Davis Mark R. (Mountain View CA), Sealable transportable container having improved liner.
  14. Zehavi, Raanan Y.; Boyle, James E.; Delaney, Laurence D., Silicon fixture supporting silicon wafers during high temperature processing.
  15. Dardashti Shahriar (236 S. Oakhurst Dr. Beverly Hills CA 90212), Storage rack.
  16. Hooshang Jahani ; Scott R. Bruner ; Peter F. Smith, Substrate fixturing device.
  17. Fujikawa Kazunori,JPX ; Yasui Kenji,JPX ; Nishizawa Hisao,JPX, Substrate holder.
  18. Babbs Daniel A. ; Shultz Richard E., Substrate housing and docking system.
  19. Babbs Daniel A., Substrate support apparatus for a substrate housing.
  20. Babbs Daniel A., Substrate support apparatus for a substrate housing.
  21. Kakizaki Takeyoshi,JPX ; Hyobu Yukihiro,JPX, Thin-plate supporting container.
  22. Nyseth David L. ; Krampotich Dennis J. ; Ulschmid Todd M. ; Bores Gregory W., Transport module.
  23. Tanaka Takashi (Hadano JPX) Yoshikawa Jun (Sagamihara JPX) Toya Eiichi (Nishiokitama JPX) Kitazawa Atsuo (Nishiokitama JPX) Meguro Kazunori (Oomiya JPX) Nozawa Tatsuo (Nishiokitama JPX) Ishizuka Yuta, Vertical boat and a method for making the same.
  24. Wingo Larry S., Vertical semiconductor wafer carrier.
  25. Nyseth, David L., Wafer container with minimal contact.
  26. Payne, Thomas; Goela, Jitendra S.; Burns, Lee E.; Pickering, Michael A., Wafer holding apparatus.

이 특허를 인용한 특허 (5)

  1. Yao, Jiangbo; Lee, Chunliang, Substrate storage rack.
  2. Chang, Chung-Ying; Lo, Yun-Ming; Shen, Chi; Tseng, Ying-Chan, Wafer carrier.
  3. Kuo, Chien-Ming; Chang, Hung-Ching, Wafer cassette.
  4. Bactasa, Romolo Recorba, Wafer handling station including cassette members with lateral wafer confining brackets and associated methods.
  5. Bonora, Anthony C., Workpiece structures and apparatus for accessing same.
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