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특허 상세정보

Fluidized bed reactor systems and distributors for use in same

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B01J-008/24    B01J-008/44    F23C-010/20    F27B-015/10    B01J-008/18    C01B-033/107    C01B-033/03    C01B-033/031   
미국특허분류(USC) 422/139; 422/143; 422/311; 034/582
출원번호 US-0977849 (2010-12-23)
등록번호 US-8828324 (2014-09-09)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Armstrong Teasdale LLP
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 24
초록

Fluidized bed reactor systems and distributors are disclosed as well as processes for producing polycrystalline silicon from a thermally decomposable silicon compound such as trichlorosilane. The processes generally involve reduction of silicon deposits on reactor walls during polycrystalline silicon production by use of a silicon tetrahalide.

대표
청구항

1. A distributor for distributing a first gas and a second gas and a third gas into a reaction chamber comprising at least one reaction chamber wall, the distributor comprising a plurality of distribution openings including a plurality of peripheral openings, a plurality of interior openings and a plurality of central openings, each distribution opening having a channel portion and a flare-out portion and a throttle portion disposed between the channel portion and flare-out portion, the peripheral openings having channel portions that are angled toward t...

이 특허에 인용된 특허 (24)

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