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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) | B01J-008/24 B01J-008/44 F23C-010/20 F27B-015/10 B01J-008/18 C01B-033/107 C01B-033/03 C01B-033/031 |
미국특허분류(USC) | 422/139; 422/143; 422/311; 034/582 |
출원번호 | US-0977849 (2010-12-23) |
등록번호 | US-8828324 (2014-09-09) |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 | |
대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 24 |
Fluidized bed reactor systems and distributors are disclosed as well as processes for producing polycrystalline silicon from a thermally decomposable silicon compound such as trichlorosilane. The processes generally involve reduction of silicon deposits on reactor walls during polycrystalline silicon production by use of a silicon tetrahalide.
1. A distributor for distributing a first gas and a second gas and a third gas into a reaction chamber comprising at least one reaction chamber wall, the distributor comprising a plurality of distribution openings including a plurality of peripheral openings, a plurality of interior openings and a plurality of central openings, each distribution opening having a channel portion and a flare-out portion and a throttle portion disposed between the channel portion and flare-out portion, the peripheral openings having channel portions that are angled toward t...