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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0104130 (2011-05-10) |
등록번호 | US-8840990 (2014-09-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 14 |
The present invention provides porous organosilicate layers, and vapor deposition systems and methods for preparing such layers on substrates. The porous organosilicate layers are useful, for example, as masks.
1. An article comprising a substrate having a periodic mesoporous organosilicate layer having an as-deposited thickness of no greater than 20 nanometers that is formed by: contacting a vapor comprising at least one silsesquioxane precursor, a vapor comprising at least one wetting agent or surfactant
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