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Self-cleaning wiresaw apparatus and method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B28D-005/04
출원번호 US-0258112 (2010-03-30)
등록번호 US-8851059 (2014-10-07)
국제출원번호 PCT/US2010/029144 (2010-03-30)
§371/§102 date 20110921 (20110921)
국제공개번호 WO2010/120491 (2010-10-21)
발명자 / 주소
  • Grumbine, Steven
  • Barros, Carlos
  • Nagarajan, Ramasubramanyam
출원인 / 주소
  • Cabot Microelectronics Corporation
대리인 / 주소
    Omholt, Thomas E
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 14

초록

The present invention provides a self-cleaning wiresaw cutting apparatus including a cleaning mechanism adapted to clean the components of the wiresaw before, during, or after a cutting process or to humidify the cutting region of the apparatus. The apparatus contains at least one dispenser adapted

대표청구항

1. A self-cleaning wiresaw apparatus comprising: at least one cutting wire looped under tension within wire guide grooves on at least two rotatable wire guide rollers, the cutting wire being movable with the synchronous rotation of rollers;a cutting region adapted to receive a substrate and to urge

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Fukunaga Hisaya,JPX ; Kurogi Katsutoshi,JPX, Air blow apparatus for a semiconductor wafer.
  2. Mukai Ryohei,JPX ; Suzuki Hirohide,JPX ; Tamashima Hideki,JPX, Apparatus and method for cooling workpiece.
  3. Amiran Mohsen C., Apparatus and method for removing contaminants from fine grained soil, clay, silt, and sediment particles.
  4. Scott Lewis A. (Lake Oswego OR) Edgerton John L. (Canby OR) Weber Johann (Estacada OR), Cutting chain for aggregate materials.
  5. Bakshi, Abhaya Kumar; Panigrahi, Bhaskar Chandra, In-situ wafer processing system and method.
  6. Asakawa Keiichiro,JPX ; Oishi Hiroshi,JPX, Ingot slicing method and apparatus therefor.
  7. Parsells, Robert; Gettelfinger, Geoff; Perry, Erik; Rule, Keith, Method and apparatus for diamond wire cutting of metal structures.
  8. Anton Huber DE; Joachim Junge DE; Jorg Moser DE, Method and device for cutting a multiplicity of disks from a hard brittle workpiece.
  9. Skovgaard-Soerensen, Frank, Method and device for sawing a workpiece.
  10. Kondo, Sadahiko; Miyachi, Akira; Ishida, Hazime, Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth magnet, and wire-saw machine.
  11. Persyk Dennis E. ; Andreaco Mark S., Method for precision cutting of soluble scintillator materials.
  12. Kondo,Sadahiko; Miyachi,Akira; Ishida,Hazime, Method of cutting rare-earth alloy.
  13. Carl Frazer Tudor NL; Philip Mike Midgett NL, Twin wire electric arc metalizing device.
  14. Inoue, Kiyoshi, Wire-cut electroerosion method and apparatus utilizing wire-cleaning means.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Pietsch, Georg, Method for simultaneously cutting a multiplicity of wafers from a workpiece.
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