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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0350780 (2012-01-15) |
등록번호 | US-8867041 (2014-10-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 167 |
An optical metrology apparatus for measuring nanoimprint structures using Vacuum Ultra-Violet (VUV) light is described. Focusing optics focus light onto the sample and collect the light reflected from the sample so as to record an optical response from nanoimprint structures on the sample, wherein t
1. An apparatus for measuring characteristics of a sample, the apparatus comprising: an optical metrology instrument comprising focusing optics for focusing light onto the sample and collecting the light reflected from the sample so as to record an optical response from nanoimprint structures on the
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