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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0757313 (2007-06-01) |
등록번호 | US-8884474 (2014-11-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 42 |
A micro machine may be in or less than the micrometer domain. The micro machine may include a micro actuator and a micro shaft coupled to the micro actuator. The micro shaft is operable to be driven by the micro actuator. A tool is coupled to the micro shaft and is operable to perform work in respon
1. A method of making a micro machine, comprising: fabricating in-plane on a substrate one or more moving parts of a micro machine;the at least one moving part comprising in-plane a surface parallel to the substrate; andusing on-chip actuation on the substrate coupled with the at least one moving pa
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