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특허 상세정보

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Hybrid electrostatic lens with increased natural frequency

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) H01J-049/06    H01Q-009/04   
미국특허분류(USC) 250/396R; 428/367; 428/368; 343/791; 343/872; 343/873
출원번호 US-0564450 (2012-08-01)
등록번호 US-8907295 (2014-12-09)
발명자 / 주소
  • Naumovski, Oliver V.
  • Patel, Shardul
  • Teodorczyk, Charles A.
출원인 / 주소
  • Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 5
초록

A composite electrostatic rod may include a body comprising a length L and cross sectional area A. The body may include an outer portion comprising a first material, and a core comprising a second material different than the first material and surrounded by the outer portion, wherein a natural frequency of the composite electrostatic rod is greater than that of a graphite rod having the length L and cross sectional area A.

대표
청구항
▼

1. A composite electrostatic lens for controlling an ion beam for ion implantation rod, comprising: first and second electrostatic rods defining a gap for transmitting the ion beam therebetween;wherein at least one of the first and second electrostatic rods comprises a body having a length L and cross sectional area A, the body comprising: an outer portion comprising an upper shell and a separate lower shell that are fastened together, the upper and lower shells formed of a first material; anda core formed from a second material different than the first ...

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Tokiguchi Katsumi (Hitachi JPX) Amemiya Kensuke (Katsuta JPX) Sakudo Noriyuki (Hitachi JPX) Seki Takayoshi (Hitachi JPX), External resonance circuit type radio frequency quadrupole accelerator.
  2. Cobb Jack M., Graphite composite structures exhibiting electrical conductivity.
  3. Cobb Jack M. (San Juan Capistrano CA), Graphite composite structures exhibiting electrical conductivity.
  4. Radev Rumen B. (Sofia BGX) Vulchev Alexander Y. (Sofia BGX) Peev Vasil G. (Sofia BGX), Graphite electrode with protective coating and method for its production.
  5. Browning Douglas R. (Berkeley Heights NJ), Reaction mass actuator.

IPC 상위 출원인