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Electron beam welding of large vacuum chamber body having a high emissivity coating

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-006/00
  • B65D-006/02
  • B23K-015/00
  • H01L-021/673
  • B65D-006/32
출원번호 US-0966329 (2013-08-14)
등록번호 US-8915389 (2014-12-23)
발명자 / 주소
  • Kurita, Shinichi
  • Behdjat, Mehran
  • Inagawa, Makoto
출원인 / 주소
  • Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Patterson & Sheridan, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 8

초록

Embodiments disclosed herein relate to a large vacuum chamber body that has been welded together. The chamber body may have a high emissivity coating on at least one surface therein. Due to the large size of the chamber body, the chamber body may be formed by welding several pieces together rather t

대표청구항

1. A vacuum chamber body comprising a plurality of pieces sealingly coupled together to collectively form the vacuum chamber body having an inside surface with four corners, the vacuum chamber body comprising: a first piece comprising: a first portion having a first length greater than a first width

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Swincicki, Edmund J., Container for produce, fruits groceries and the like.
  2. Lee, Jae-Chull; Kurita, Shinichi; White, John M.; Anwar, Suhail, Decoupled chamber body.
  3. Chiang Yi-Cherng,TWX, Detachable food container.
  4. Inanobe,Tsuyoshi; Takami,Sho; Ose,Yoichi; Sasada,Katsuhiro, Electron beam apparatus and method for production of its specimen chamber.
  5. Mahoney Leonard Joseph ; Daniels Brian Kenneth ; Petrmichl Rudolph Hugo ; Fodor Florian Joseph ; Venable ; III Ray Hays, Gridless ion source for the vacuum processing of materials.
  6. Matsumoto,Takayuki; Hosokawa,Akihiro, Multiple section end effector assembly.
  7. Harada Yoshinori,JPX, Thin-film depositing apparatus.
  8. Seon, Hyeong-Rae; Chang, Dong-Su, Vacuum vessel, its method of manufacture, and electron emission display using the vacuum vessel.
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