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특허 상세정보

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Split type aerostatic bearing

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F16C-032/06    F16C-029/02   
미국특허분류(USC) 384/012;
출원번호 US-0002561 (2012-02-13)
등록번호 US-8920031 (2014-12-30)
우선권정보 CN-2011 1 0053278 (2011-03-07)
국제출원번호 PCT/CN2012/071057 (2012-02-13)
§371/§102 date 20130830 (20130830)
국제공개번호 WO2012/119502 (2012-09-13)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Muncy, Geissler, Olds & Lowe, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 7
초록
▼

A split-type aerostatic bearing for supporting a moving table to move frictionlessly on a platform (4) is disclosed. The split-type aerostatic bearing includes an aerostatic bearing plate (6), air floating elements (2′a, 2′b, 2′c, 2′d) disposed on a bottom of the aerostatic bearing plate (6) and a vacuum pre-tightening structure (7) disposed on the aerostatic bearing plate (6). The vacuum pre-tightening structure (7) is coupled to the aerostatic bearing plate (6) in a split fashion. Separation of the air floating elements (2′a, 2′b, 2′c, 2′d) from the va...

대표
청구항
▼

1. An aerostatic bearing for supporting a moving table to move substantially frictionlessly on a platform, the aerostatic bearing comprising: an aerostatic bearing plate;air floating elements disposed on a bottom of the aerostatic bearing plate;a vacuum pre-tightening structure disposed on the aerostatic bearing plate, wherein the vacuum pre-tightening structure is detachably coupled to the aerostatic bearing plate, each coupling point between the vacuum pre-tightening structure and the aerostatic bearing plate is aligned on a same normal line of the pla...

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Schubert, Gerhard; Jackel, Christian; Kirschstein, Ulf-Carsten; Boehm, Michael; Bauer, René; Harnisch, Gerd; Peschel, Thomas; Risse, Stefan; Schenk, Christoph. Aerostatic bearing arrangement and associated electrostatic preloading unit, particularly for vacuum application. USP2013098529130.
  2. Johnson Robert P.. Air bearing assembly. USP1999105967666.
  3. Enderle Eckhard (Aalen-Dewangen DEX) Leitenberger Werner (Heidenheim-Mergelstetten DEX) Muller Helmut (Schwabisch Gmund-Grossdeinbach DEX). Device for preloading a guided machine part. USP1992075129733.
  4. Michael R. Sogard. Fluid bearing operable in a vacuum region. USP2002066402380.
  5. Enderle Eckhard (Aalen-Dewangen DEX) Ahnelt Peter (Oberkochen DEX). Gas pressure bearing. USP1993045199796.
  6. Nakajima, Ryuta; Nomoto, Tsuyoshi; Hosobata, Takuya. Hydrostatic bearing and stage apparatus. USP2011057946767.
  7. Ahn,Byung il; Lee,Suk won; Song,Se kyong. Transporting apparatus. USP2007087255478.

IPC 상위 출원인