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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0688495 (2010-01-15) |
등록번호 | US-8926803 (2015-01-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 71 |
It is an object of this disclosure to provide high productivity, low cost-of-ownership manufacturing equipment for the high volume production of photovoltaic (PV) solar cell device architecture. It is a further object of this disclosure to reduce material processing steps and material cost compared
1. An apparatus for producing porous silicon on a front side of a silicon wafer comprising: a wafer handling pallet comprising: an opening for holding the peripheral edge of the silicon wafer;a wafer backside sealing mechanism comprising a seal contacting only the backside of the wafer;a housing com
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