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Cold cathode gauge fast response signal circuit 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01L-021/30
  • G01L-021/34
출원번호 US-0559347 (2012-07-26)
등록번호 US-8928329 (2015-01-06)
발명자 / 주소
  • Downing, Bert
  • Gu, Donghua
  • Peacock, Neil T.
출원인 / 주소
  • MKS Instruments, Inc.
대리인 / 주소
    Young, James R.
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 13

초록

A fast response output signal circuit (10) for a cold cathode gauge is provided to produce a fast response output signal (48) in addition to a voltage output signal (40) that is representative of the pressure in the cold cathode gauge. The fast response output signal (48) is either on or off, thus c

대표청구항

1. A fast response signal circuit for a cold cathode pressure gauge that provides a current signal which is proportional to pressure in the cold cathode gauge, comprising: an electrometer circuit that is connectable electrically to the current signal from the cold cathode pressure gauge and that amp

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Blank, Andreas, Apparatus monitoring the deposition of a liquid-to-pasty medium on a substrate.
  2. Barrett, Jeffrey B., Automatic variable gain amplifier.
  3. Lewis, John F., Charge rate electrometer including means for substantially eliminating leakage currents.
  4. Liu,Peng; Sheng,Lei Mei; Wei,Yang; Liu,Liang; Qi,Jing; Fan,Shou Shan, Cold cathode device and vacuum gauge using same.
  5. Peacock Roy N. (Lafayette CO) Peacock Neil T. (Lafayette CO), Discharge initiating means for cold cathode discharge ionization gauge.
  6. Arnold,Paul C.; Rutt,Paul M., Ionization gauge.
  7. Bills Daniel Granville, Ionization gauge and method of using and calibrating same.
  8. Correale,Raffaele, Ionization vacuum gauge.
  9. Baptist Robert (Jarrie FRX) Py Christophe (Grenoble FRX), Ionization vacuum gauge using a cold micropoint cathode.
  10. Peacock Roy N. (Lafayette CO), Method and circuit for extending the range of a cold cathode discharge vacuum gauge.
  11. Peacock, Neil T.; Wade, Stacy W., Pressure controlled degas system for hot cathode ionization pressure gauges.
  12. Yefchak, George, Pressure measurement using ion beam current in a mass spectrometer.
  13. Peacock Roy N. (Lafayette) Peacock Neil T. (Lafayette CO), Removable discharge initiating means for cold cathode discharge ionization gauge.

이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. Bhutta, Imran Ahmed, Electronically variable capacitor and RF matching network incorporating same.
  2. Bhutta, Imran Ahmed, High speed high voltage switching circuit.
  3. Bhutta, Imran, High voltage switching circuit.
  4. Bhutta, Imran Ahmed, RF impedance matching network.
  5. Bhutta, Imran Ahmed, RF impedance matching network.
  6. Bhutta, Imran Ahmed, RF impedance matching network.
  7. Bhutta, Imran Ahmed, RF impedance matching network.
  8. Mavretic, Anton, RF impedance matching network.
  9. Mavretic, Anton, RF impedance matching network.
  10. Mavretic, Anton, Switching circuit.
  11. Mavretic, Anton, Switching circuit.
  12. Mavretic, Anton, Switching circuit for RF currents.
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