최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0535214 (2012-06-27) |
등록번호 | US-8933375 (2015-01-13) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 52 인용 특허 : 125 |
A wafer processing apparatus may include a susceptor having a top side and a backside, a susceptor heater having a spacing member and a heating member, a shim removably mounted between the susceptor and the susceptor heater, a cavity formed by the susceptor backside, the susceptor heater, and the sh
1. A susceptor heater assembly comprising: a spacing member;a heating member having a top surface connected to the spacing member;a shim removably mounted on the heating member;a susceptor having a bottom surface, the susceptor connected to the shim;a fluid line inlet traversing the heating member;a
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.