최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0479148 (2012-05-23) |
등록번호 | US-8974270 (2015-03-10) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 251 |
CMP pad dressers having leveled tips and associated methods are provided. In one aspect, for example, a CMP pad dresser can include a matrix layer and a monolayer of a plurality of superabrasive particles embedded in the matrix layer, where each superabrasive particle in the monolayer protrudes from
1. A CMP pad dresser, comprising: a first monolayer of superabrasive particles disposed on and protruding from one side of a metal support layer, wherein the difference in protrusion distance between the highest protruding tip and the second highest protruding tip of the monolayer of superabrasive p
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.