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특허 상세정보

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Ex-situ cleaning assembly

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B08B-003/00    H01L-021/67    B08B-003/02    H01L-021/677    H01L-021/683    B05B-001/20   
미국특허분류(USC) 134/115R;
출원번호 US-0103965 (2011-05-09)
등록번호 US-8974606 (2015-03-10)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 23
초록
▼

A cleaning assembly is provided. The cleaning assembly includes a plate having a front surface and a back surface and a manifold affixed to an edge of the plate. The manifold has a plurality of outlets extending therefrom. The plate further includes a plurality of cups extending through the plate. The plurality of cups have an upper body with an outlet extending from the back surface and the plurality of cups have a sealing portion coupled to the upper body and extending from the front surface of the plate. Each outlet of the upper body is coupled to one...

대표
청구항
▼

1. A cleaning assembly, comprising: a plate having a front surface and a back surface;a manifold affixed to an edge of the plate, the manifold having a plurality of outlets extending therefrom, wherein the plate further comprises;a plurality of cups extending through the plate, the plurality of cups having an upper body with an outlet extending from the back surface and the plurality of cups having a sealing portion extending from the front surface, each outlet of the upper body coupled to one of the corresponding plurality of outlets of the manifold;a p...

이 특허에 인용된 특허 (23)

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IPC 상위 출원인