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Material-working device with in-situ measurement of the working distance 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01B-011/14
  • G01N-021/25
  • B23K-026/03
  • B23K-026/04
  • B23K-026/08
  • G01B-009/02
출원번호 US-0667809 (2012-11-02)
등록번호 US-8982339 (2015-03-17)
우선권정보 DE-10 2010 016 862 (2010-05-10)
발명자 / 주소
  • Schönleber, Martin
  • Kogel-Hollacher, Markus
출원인 / 주소
  • Precitec Optronik GmbH
대리인 / 주소
    Taylor English Duma LLP
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 2

초록

A material-working device with working beams of a beam generator and with in-situ measurement of a working distance between the beam generator and a workpiece, the material-working device including a working laser; a laser scanner for the working laser, the laser scanner including a two-dimensional

대표청구항

1. A material-working device with working beams of a beam generator and with in-situ measurement of a working distance between the beam generator and a workpiece, the material-working device comprising: a working laser;a laser scanner for the working laser, the laser scanner including a two-dimensio

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. Knopp Carl F. ; Fountain William D. ; Orkiszewski Jerzy ; Persiantsev Michael ; Sklar H. Alfred ; Wysopal Jan, Automated laser workstation for high precision surgical and industrial interventions.
  2. David C. MacPherson ; Jon G. Dishler, Topographer for real time ablation feedback having synthetic wavelength generators.

이 특허를 인용한 특허 (9)

  1. Schönleber, Martin, Apparatus and method for determining a depth of a region having a high aspect ratio that protrudes into a surface of a semiconductor wafer.
  2. Schönleber, Martin; André, Stephan, Distance measuring device and method for measuring distances.
  3. Singh, Amandev; Pellemans, Henricus Petrus Maria, Focus monitoring arrangement and inspection apparatus including such an arrangement.
  4. Schoenleber, Martin; Kogel-Hollacher, Markus; Bautze, Thibault, Method for measuring the distance between a workpiece and a machining head of a laser machining apparatus.
  5. Webster, Paul J. L., Methods and systems for characterizing laser machining properties by measuring keyhole dynamics using interferometry.
  6. Michelt, Berthold; Kunkel, Matthias, Optical measuring device and method for acquiring in situ a stage height between a support and an edge region of an object.
  7. Schönleber, Martin; Michelt, Berthold; Kunkel, Matthias, Optical measuring method and measuring device having a measuring head for capturing a surface topography by calibrating the orientation of the measuring head.
  8. Schönleber, Martin; Michelt, Berthold; Kunkel, Matthias, Optical measuring method and measuring device having a measuring head for capturing a surface topography by calibrating the orientation of the measuring head.
  9. Schönleber, Martin; Michelt, Berthold, Test device for testing a bonding layer between wafer-shaped samples and test process for testing the bonding layer.
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