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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0955683 (2013-07-31) |
등록번호 | US-9004983 (2015-04-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 10 |
Methods and apparatus for forming a semi-spherical polishing pad for polishing semiconductor surfaces, provide for: placing a polishing pad pre-form on a dome-shaped forming surface, the polishing pad pre-form including a circular body having a center and an outer peripheral edge, and a plurality of
1. A polishing pad for polishing semiconductor surfaces, comprising: a circular body having a center and an outer peripheral edge;a circular aperture disposed at the center of the circular body; anda plurality of slots extending from the outer peripheral edge radially towards the circular aperture,
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