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Memory cells, semiconductor devices including such cells, and methods of fabrication 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/22
  • H01L-045/00
출원번호 US-0298987 (2011-11-17)
등록번호 US-9006075 (2015-04-14)
발명자 / 주소
  • Quick, Timothy A.
  • Marsh, Eugene P.
  • Uhlenbrock, Stefan
  • Carter, Chet E.
  • Sills, Scott E.
출원인 / 주소
  • Micron Technology, Inc.
대리인 / 주소
    TraskBritt
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 13

초록

Memory cells are disclosed, which cells include a cell material and an ion-source material over the cell material. A discontinuous interfacial material is included between the cell material and the ion-source material. Also disclosed are fabrication methods and semiconductor devices including the di

대표청구항

1. A memory cell comprising: a cell material;an ion-source material over the cell material, the ion-source material comprising atoms; anda discontinuous interfacial material between the cell material and the ion-source material, the discontinuous interfacial material comprising interfacial complexes

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Gurtej Sandhu ; Garo J. Derderian, ALD method to improve surface coverage.
  2. Moore,John T.; Brooks,Joseph F., Electrode structure for use in an integrated circuit.
  3. Sandhu, Gurtej; Derderian, Garo J., Film composition.
  4. Ufert,Klaus Dieter, Method for fabricating a resistive memory.
  5. Pinnow, Cay-Uwe, Method for fabricating a solid electrolyte memory device and solid electrolyte memory device.
  6. Moore, John T., Method of forming integrated circuitry, method of forming memory circuitry, and method of forming random access memory circuitry.
  7. Kim, Yeong-kwan; Park, Young-wook; Lim, Jae-soon; Choi, Sung-je; Lee, Sang-in, Method of forming thin film using atomic layer deposition method.
  8. Gilton,Terry L., Method of manufacture of programmable conductor memory.
  9. Gilton, Terry L., Method of manufacture of programmable switching circuits and memory cells employing a glass layer.
  10. Kozicki Michael N. ; West William C., Programmable metallization cell structure and method of making same.
  11. Kozicki Michael N. ; West William C., Programmable metallization cell structure and method of making same.
  12. Kozicki Michael N. ; West William C., Programmable metallization cell structure and method of making same.
  13. Sandhu, Gurtej; Derderian, Garo J., Semiconductor device with novel film composition.
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