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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0948055 (2013-07-22) |
등록번호 | US-9018111 (2015-04-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 71 인용 특허 : 149 |
A processing chamber including a reaction chamber having a processing area, a processing gas inlet in communication with the processing area, a first excited species generation zone in communication with the processing gas inlet and a second exited species generation zone in communication with the p
1. A processing chamber comprising: a reaction chamber having a processing area;a processing gas inlet in communication with the processing area;a first excited species generation zone in communication with the processing gas inlet; and,a second excited species generation zone in communication with
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