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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0621353 (2012-09-17) |
등록번호 | US-9027739 (2015-05-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 28 |
A substrate transport system includes a substrate cart inside a chamber and a linearly driven shuttle outside the chamber configured to levitate the substrate cart into a non contact, spaced relationship with respect to outwardly opposing sides of an interior wall of the chamber and to linearly driv
1. A substrate transport system comprising: a chamber;a substrate cart inside the chamber;a linearly driven shuttle outside the chamber;the linearly driven shuttle including a motor, the motor and the linearly driven shuttle together moveable relative to the chamber and wherein the linearly driven s
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