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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0821609 (2011-09-16) |
등록번호 | US-9095072 (2015-07-28) |
국제출원번호 | PCT/US2011/051994 (2011-09-16) |
§371/§102 date | 20130520 (20130520) |
국제공개번호 | WO2012/037492 (2012-03-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 70 |
This document refers to multi-die micromechanical system (MEMS) packages. In an example, a multi-die MEMS package can include a controller integrated circuit (IC) configured to couple to a circuit board, a MEMS IC mounted to a first side of the controller IC, a through silicon via extending through
1. An apparatus comprising: a microelectromechanical system (MEMS) integrated circuit (IC), the MEMS IC including: a device layer having a plurality of gaps, the plurality of gaps forming multiple moveable portions and a single anchor, the single anchor configured to support the multiple moveable po
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