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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0927786 (2013-06-26) |
등록번호 | US-9098082 (2015-08-04) |
우선권정보 | JP-2003-177134 (2003-06-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 11 |
The invention supplies a quantity Q of gas while dividing at flow rate ratio Q1/Q2 from a gas supply facility equipped with a flow controller. A total quantity Q=Q1+Q2 of gas is supplied into a chamber at flow rate Q1 and Q2 through shower plates fixed to ends of branch supply lines by providing ope
1. A method for supplying gas while dividing to a chamber from a gas supply facility equipped with a flow controller, the method comprising the steps of: supplying a specified quantity Q of gas, while dividing at a specified flow rate ratio Ql/Q2 from a gas supply facility provided with a flow contr
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