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Combined environmental parameter sensor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-007/00
  • G01D-021/02
  • G01D-001/00
  • G01L-019/14
  • G01L-011/02
  • G01N-019/10
  • G01L-019/00
출원번호 US-0406439 (2012-02-27)
등록번호 US-9103705 (2015-08-11)
발명자 / 주소
  • Bilic, Dubravka
  • McNeil, Andrew C.
출원인 / 주소
  • Freescale Semiconductor, Inc.
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 11

초록

A combination sensor and corresponding method of measuring a plurality of environmental parameters uses a pressure sensor disposed on an integrated circuit die; a humidity sensor disposed on the integrated circuit die; and a circuit coupled to and shared by the pressure sensor and the humidity senso

대표청구항

1. A combination sensor comprising: a pressure sensor disposed on a die, the die including a semiconductor material, wherein the pressure sensor is comprised of four piezo resistive transducers arranged in a first Wheatstone bridge configuration;a humidity sensor disposed on the die, wherein the hum

이 특허에 인용된 특허 (11)

  1. Manaka Junji (c/o Ricoh Seiki Company ; Ltd. 1-9-17 Omorinishi Ota-Ku Tokyo 143 JPX), Atmosphere sensor and method for manufacturing the sensor.
  2. Fruhberger,Bernd; Baselt,David R., Dense thin film-based chemical sensors and methods for making and using same.
  3. Chen, Jung Tai; Lee, Chia Yen; Chiou, Yii Tay; Chu, Chun Hsun, Humidity sensing structure having a cantilever resistor and method for fabricating the same.
  4. Yang, Xiao “Charles”; Wan, Hong, Method and structure of sensors or electronic devices using vertical mounting.
  5. McGill, Robert Andrew; Voiculescu, Ioana; Fedder, Gary K., Microelectro-mechanical chemical sensor.
  6. Sugihara Takashi (Ryugasaki JPX) Uda Kazutaka (Nara JPX) Tabuchi Hiroki (Nara JPX) Miyoshi Shuji (Yamatokouriyama JPX) Inami Yasuhiko (Nara JPX) Hashizume Nobuo (Nara JPX) Furubayashi Hisatoshi (Yama, Moisture-sensitive device.
  7. Bey, Jr., Paul P.; Becke, Craig S.; Speldrich, Jamie W.; Blumhoff, Christopher M., Packaging multiple measurands into a combinational sensor system using elastomeric seals.
  8. Oda, Teruo, Semiconductor device for detecting flow rate of fluid.
  9. Elian, Klaus; Auburger, Albert, Sensor device including two sensors embedded in a mold material.
  10. Koury, Jr., Daniel N.; Sridharamurthy, Sudheer, Transducer structure and method for MEMS devices.
  11. Fenner Ralph L. (978 Peutz Valley Rd. Alpine CA 91901) Quinn Robert C. (3797 Mosswood Dr. Lafayette CA 94549), Vapor pressure sensor and method.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Daamen, Roel; Humbert, Aurelie; Bancken, Pascal, Integrated circuit comprising a thermal conductivity based gas sensor.
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