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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0267336 (2011-10-06) |
등록번호 | US-9123754 (2015-09-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 4 |
An apparatus is disclosed for detecting flag velocity during a eutectic process for bonding two wafers. The apparatus includes a plurality of sensors for detecting a time and/or velocity of a plurality of flags within a flag-out mechanism. The apparatus also includes one or more displays displaying
1. A method of aligning two wafers during a bonding process, the method comprising: aligning a first wafer having a plurality of alignment markings with a second wafer having a plurality of alignment markings by aligning the plurality of alignment markings of the first wafer with corresponding marki
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