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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0417647 (2013-06-21) |
등록번호 | US-9177757 (2015-11-03) |
우선권정보 | JP-2012-172473 (2012-08-03) |
국제출원번호 | PCT/JP2013/067022 (2013-06-21) |
국제공개번호 | WO2014/021019 (2014-02-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 3 |
The present invention relates to a defect inspection apparatus based on the fact that contrasts of a grain and a void of a semiconductor copper interconnect in a scanning electron microscope are changed depending on electron beam irradiation accelerating voltages. A charged particle beam apparatus o
1. A charged particle beam apparatus comprising: an electron optical system that focuses electron beams and irradiates a specimen with the electron beams;a detector that detects secondary electrons or reflected electrons generated from the specimen due to irradiation with the electron beams; andan i
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