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Interconnect structures for integrated circuits and their formation 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-023/48
  • H01L-023/52
  • H01L-023/522
  • H01L-021/768
  • H01L-021/033
  • H01L-021/311
  • H01L-023/532
출원번호 US-0449452 (2012-04-18)
등록번호 US-9177910 (2015-11-03)
발명자 / 주소
  • Hansen, Tyler G.
  • Yang, Ming-Chuan
  • Sipani, Vishal
출원인 / 주소
  • Micron Technology, Inc.
대리인 / 주소
    Dicke, Billig & Czaja, PLLC
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 7

초록

An embodiment of an interconnect structure for an integrated circuit may include a first conductor coupled to circuitry, a second conductor, a dielectric between the first and second conductors, and a conductive underpass under and coupled to the first and second conductors and passing under the die

대표청구항

1. An interconnect structure for an integrated circuit device, comprising: first conductor coupled to circuitry;a second conductor;a first dielectric between the first and second conductors;a conductive overpass over and coupled to the first and second conductors and passing over the first dielectri

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Harvey Ian, Integrated circuit device interconnection techniques.
  2. Tang, Qiang; Ghodsi, Ramin, Layout for high density conductive interconnects.
  3. Juengling, Werner, Method and algorithm for random half pitched interconnect layout with constant spacing.
  4. Haller, Gordon; Tran, Luan C., Method, apparatus, and system for flash memory.
  5. Sandhu, Gurtej, Pitch multiplication using self-assembling materials.
  6. Takayama,Toshio; Itou,Tetsuya, Semiconductor device having a multilayer interconnection structure, fabrication method thereof, and designing method thereof.
  7. Okumura Koichiro (Tokyo JPX), Semiconductor integrated circuits with specific pitch multilevel interconnections.
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