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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0755858 (2013-01-31) |
등록번호 | US-9180385 (2015-11-10) |
우선권정보 | JP-2012-018835 (2012-01-31) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 12 |
A cold trap includes two individually controllable cooling units. The cold trap is provided in an evacuation path for connecting a vacuum chamber to a turbomolecular pump, The first cooling unit includes a first panel unit provided in the evacuation path such that the panel is exposed, and a first r
1. A cold trap comprising a plurality of individually controllable cooling units and provided in an evacuation path for connecting a volume subject to evacuation to a vacuum pump, wherein each cooling unit includes:a panel unit provided in the evacuation path such that the panel is exposed; anda ref
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