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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0411271 (2012-03-02) |
등록번호 | US-9202727 (2015-12-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 61 인용 특허 : 207 |
A substrate supporting assembly in a reaction space includes a heater, a substrate support member, and a shim positioned between the heater and the substrate support member. The shim may be removably secured between the heater and the substrate support member. The shim may further include an inner s
1. A substrate supporting assembly in a reaction space comprising: a heater;a substrate support member having a top surface to receive a substrate and a shoulder about the top surface; anda shim positioned between the heater and the substrate support member, wherein the shim comprises an inner surfa
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