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Apparatus for purging containers for storing sensitive materials 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/673
  • F17D-001/04
출원번호 US-0261113 (2010-06-30)
등록번호 US-9212786 (2015-12-15)
우선권정보 GB-0911340.8 (2009-06-30); GB-0917810.4 (2009-10-12)
국제출원번호 PCT/GB2010/051083 (2010-06-30)
§371/§102 date 20111229 (20111229)
국제공개번호 WO2011/001178 (2011-01-06)
발명자 / 주소
  • Naylor, Stuart
출원인 / 주소
  • Roylan Developments Limited
대리인 / 주소
    Breiner & Breiner, L.L.C.
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 31

초록

Apparatus for purging containers for the storage of sensitive materials is described. It includes means to connect a source of compressed purge gas to a purge gas inlet (2) on a container (1), including a pneumatically operated valve (6) adapted to allow purge gas to pass from the source to the inle

대표청구항

1. An apparatus for purging rigid sealable containers for storage of sensitive materials, the containers having a sealable inlet port and a sealable exhaust port, comprising means to connect a source of compressed purge gas to a purge gas inlet on a container, including a main gas flow valve; means

이 특허에 인용된 특허 (31)

  1. Okabe, Tsutomu, Apparatus and method for opening/closing lid of closed container, gas replacement apparatus using same, and load port apparatus.
  2. Naylor, Stuart, Apparatus and methods for storing sensitive materials.
  3. DeTemple Donald Edward ; DeTemple ; II Thomas Edward ; DeTemple Edward Bernhard, Atmospheric controlled shipping container.
  4. Babbs, Daniel; Fosnight, William, Carrier gas system and coupling substrate carrier to a loadport.
  5. Yotsumoto Tadashi,JPX ; Muguruma Terumi,JPX ; Yoshikawa Noriaki,JPX ; Kuroda Yuichi,JPX, Clean storage equipment for substrates and method of storing substrates.
  6. Gast ; Jr. William A. ; Herdeman Robert W. ; Saenz Jorge E., Container oxygen control system for transporting and ripening perishable goods.
  7. Liston Max D. (Irvine CA) Banaitis Sy J. (Wilsonville OR) Olson Robert J. (Santa Rosa CA), Controlled atmosphere storage system.
  8. Garrett Michael E.,GBX, Controlling atmospheres in containers.
  9. Lahde Frank U. (966 Hemlock Rochester MI 48063), Device for charging containers with an inert gas.
  10. Del Gallo Pascal,FRX ; Lagrange Gilles,FRX ; Prost Lucie,FRX, Device for reducing the oxidation of food products.
  11. Fosnight William J. ; Bonora Anthony C. ; Martin Raymond S. ; Tatro Jay, Evacuation-driven SMIF pod purge system.
  12. Anderson Robert D. (Orlando FL) Estes John D. (DeLand FL) Carta John (Maitland FL) Page Gilbert J. (Baltimore MD), Expandable shelter system providing collective protection.
  13. Oguma Tomio (Anjo JPX) Aso Yasuhiro (Toyota JPX), Fresh food storing device.
  14. Natsume, Mitsuo; Ochiai, Mitsutoshi; Mizokawa, Takumi, Gas charging apparatus, gas discharging apparatus, gas charging method, and gas discharging method.
  15. Okabe, Tsutomu; Miyajima, Toshihiko; Suzuki, Hitoshi, Gas replacement system.
  16. Patouraux Andre,BEX ; Patouraux Philippe,BEX, Inerting process for packaging covers and devices for carrying out said process.
  17. Ilya Perlov ; Alexey Goder ; Eugene Gantvarg ; Howard E. Grunes, Method and apparatus for improved substrate handling.
  18. Colombo Edward A., Modified atmosphere packaging method.
  19. Roberson ; Jr. Glenn A. ; Genco Robert M. ; Eglinton Robert B. ; Comer Wayland ; Mundt Gregory K., Molecular contamination control system.
  20. De Moor Colette Pamela, Packing respiring biological materials with atmosphere control member.
  21. Yamashita Teppei,JPX ; Murata Masanao,JPX ; Tanaka Tsuyoshi,JPX ; Kawano Hitoshi,JPX ; Morita Teruya,JPX, Portable closed container.
  22. Stein, Russ, Produce ripening system.
  23. Goto, Fumiki; Adachi, Naruto, Purge apparatus.
  24. Miyajima, Toshihiko; Igarashi, Hiroshi; Suzuki, Hitoshi, Purging apparatus and purging method.
  25. Miyajima,Toshihiko; Kagaya,Takeshi; Suzuki,Hitoshi; Sasaki,Mutsuo, Purging system and purging method for the interior of a portable type hermetically sealed container.
  26. Yang Tung-Fang,TWX ; Wu Tzong-Ming,TWX, Standard mechanical interface wafer pod gas filling system.
  27. Ra, Byung-Koog; Yun, Tae-Sik; Lee, Kunhyung; Kim, Hyunjoon; Kim, Hyeogki; Kim, KiDoo, Substrate transfer container, gas purge monitoring tool, and semiconductor manufacturing equipment with the same.
  28. Speasl, Jerry A.; Dante, Edward, Transportable container including an internal environment monitor.
  29. Tokunaga,Kenji, Wafer carrier, wafer conveying system, stocker, and method of replacing gas.
  30. Inoue, Kiyotaka; Muguruma, Terumi; Kuroda, Yuichi; Yoshikawa, Noriaki, Wafer container.
  31. Inoue, Kiyotaka; Muguruma, Terumi; Kuroda, Yuichi; Yoshikawa, Noriaki, Wafer container.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Takada, Ayato, Article transport facility.
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