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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0165573 (2014-01-27) |
등록번호 | US-9224576 (2015-12-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 43 |
A particle-optical arrangement comprises a charged-particle source for generating a beam of charged particles; a multi-aperture plate arranged in a beam path of the beam of charged particles, wherein the multi-aperture plate has a plurality of apertures formed therein in a predetermined first array
1. A particle-optical arrangement comprising: at least one charged-particle source for generating at least one beam of charged particles;at least one multi-aperture plate arranged in a beam path of the at least one beam of charged particles, wherein the at least one multi-aperture plate has a plural
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