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Substrate processing apparatus

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G06F-007/00
  • H01L-021/677
  • B25J-009/04
  • B25J-011/00
  • B25J-018/04
출원번호 US-0579067 (2014-12-22)
등록번호 US-9230841 (2016-01-05)
발명자 / 주소
  • Gilchrist, Ulysses
  • Caveney, Robert T.
  • Krishnasamy, Jayaraman
  • Drew, Mitchell
  • Moura, Jairo T.
출원인 / 주소
  • Brooks Automation, Inc.
대리인 / 주소
    Perman & Green, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 3  인용 특허 : 27

초록

A substrate processing apparatus including a frame, a first SCARA arm connected to the frame, including an end effector, configured to extend and retract along a first radial axis; a second SCARA arm connected to the frame, including an end effector, configured to extend and retract along a second r

대표청구항

1. A substrate processing apparatus comprising: a frame;a first SCARA arm connected to the frame, the first SCARA arm includes an end effector and is configured to extend and retract along a first radial axis;a second SCARA arm connected to the frame, the second SCARA arm includes an end effector an

이 특허에 인용된 특허 (27)

  1. Hofmeister Christopher, Articulated arm transfer device.
  2. Ha Jin S. (12750-14 Centralia St. Lakewood CA 90715), Automatic transmission system.
  3. Kruse Robert W. (Rockford IL), Automatic wire connector attaching apparatus.
  4. Kolpak Miroslav M. (Plano TX) Petermann Steven G. (Plano TX), Centrifugal separator systems for multi-phase fluids.
  5. Kremerman, Izya, Dual arm robot.
  6. James A. Cameron ; Steven G. Reyling, Dual arm substrate handling robot with a batch loader.
  7. Caveney, Robert T.; Solomon, Todd, Dual arm substrate transport apparatus.
  8. Lero,Christophe; Astegno,Pierre; Gaudon,Alain, FOUP door transfer system.
  9. Niewmierzycki, Leszek; Barker, David; Devine, Daniel J.; Kuhlman, Michael; Pakulski, Ryan; Shan, Hongqing; Zucker, Martin, Low cost high throughput processing platform.
  10. van der Meulen,Peter, Mid-entry load lock for semiconductor handling system.
  11. Cho Gyung Su,KRX, Multi-substrate feeder for semiconductor device manufacturing system.
  12. Okuno, Chohei; Mori, Hiroki; Watanabe, Tetsuya, Robot arm mechanism.
  13. Bacchi Paul ; Filipski Paul S., Robot arm with specimen sensing and edge gripping end effector.
  14. Tatsunori Suwa JP; Kazuhiro Hatake JP; Shunsuke Sugimura JP, Robot for handling.
  15. Kuechler Jurgen (An den Alten Graben 9 W-3556 Weimar/Niederwalgern DEX), Rotary piston machine.
  16. Paul Bacchi ; Paul S. Filipski, Self-teaching robot arm position method.
  17. Takizawa, Masahiro; Suwada, Masaei; Wada, Takashi, Semiconductor substrate transfer apparatus and semiconductor substrate processing apparatus equipped with the same.
  18. Shirai, Hidenobu, Semiconductor transfer and manufacturing apparatus.
  19. Ishida Toshimichi (Hirakata JPX) Suzuki Masaki (Hirakata JPX), Substrate transfer apparatus.
  20. Beaulieu, David R., Substrate transport apparatus with coaxial drive shafts and dual independent scara arms.
  21. Christopher A. Hofmeister, Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation.
  22. Hosek, Martin; Gilchrist, Ulysses, Substrate transport apparatus with multiple independently movable articulated arms.
  23. Ogawa,Hironori; Uno,Sakiko, Transfer robot.
  24. Minami, Hirofumi; Ago, Kenji; Kawaguchi, Takafumi; Koike, Toshio; Yuyama, Junpei, Transport apparatus, control method for the same, and vacuum processing system.
  25. Saeki, Hiroaki; Ishizawa, Shigeru; Shindo, Takehiro; Hiroki, Tsutomu; Machiyama, Wataru, Transportation apparatus and drive mechanism.
  26. Wheeler William R. (Saratoga CA) Kudinar Rusmin (Fremont CA) Kren George J. (Los Altos CA) Clementson David D. (Palo Alto CA), Wafer handling apparatus.
  27. Hirahara Yorio,JPX ; Maetani Haruo,JPX, Work transport control method.

이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. Gilbertson, Seth; Weber, Jeff; Wilson, Robert, Kinematic design for robotic arm.
  2. Somani, Bhushan, Real time diagnostics for flow controller systems and methods.
  3. Gilbertson, Seth; Weber, Jeff; Wilson, Robert, Robotic device with coordinated sweeping tool and shovel tool.
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