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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0259194 (2014-04-23) |
등록번호 | US-9256123 (2016-02-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 3 |
The present disclosure relates to a method of forming an EUV pellicle having an pellicle film connected to a pellicle frame without a supportive mesh, and an associated apparatus. In some embodiments, the method is performed by forming a cleaving plane within a substrate at a position parallel to a
1. A method for forming a pellicle, comprising: forming a cleaving plane within a substrate at a position parallel to a top surface of the substrate;attaching a pellicle frame to the top surface of the substrate;cleaving the substrate along the cleaving plane to form a pellicle film comprising a thi
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