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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0345375 (2012-01-06) |
등록번호 | US-9263306 (2016-02-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 11 |
A protective layer is applied to a work piece to protect the surface during charged particle beam processing by directing a fluid toward the surface. The surface is preferably not touched by the applicator. Ink jet print-type print heads are suitable applicators. Ink jet-type print heads allow a wid
1. An apparatus for providing a protective layer on a work piece, comprising: a support for positioning a work piece;a work piece positioned on the support, the work piece comprising a semiconductor wafer including one or more integrated circuit features;an applicator for locally applying a colloida
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