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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0702493 (2011-05-30) |
등록번호 | US-9281223 (2016-03-08) |
우선권정보 | JP-2010-131470 (2010-06-08) |
국제출원번호 | PCT/JP2011/062331 (2011-05-30) |
§371/§102 date | 20130301 (20130301) |
국제공개번호 | WO2011/155355 (2011-12-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 28 |
In a transfer system for wafers, etc., a coupling chamber corresponding to a port is formed only when a transfer box comes in tight contact with an apparatus as a transfer target in the transfer box is transferred into the apparatus, so that the transfer target will be transferred into the apparatus
1. A coupling system comprising: a transfer box having a transfer box body and a transfer box door; and an apparatus having an apparatus body and an apparatus door, wherein the transfer box door is made to support a wafer thereon and carry the wafer within an interior of the apparatus body; said cou
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