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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0317695 (2014-06-27) |
등록번호 | US-9310471 (2016-04-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 35 인용 특허 : 0 |
A chip-scale scanning lidar includes a two dimensional (2D) scanning micromirror for a transmit beam and a 2D scanning micromirror for a receive beam, a laser diode and a photodetector, a first waveguide and first grating outcoupler coupled to a front facet of the laser diode, a second waveguide and
1. A method of fabricating a chip-scale scanning lidar comprising: forming a two dimensional (2D) scanning micromirror for a transmit beam on a substrate;forming a two dimensional (2D) scanning micromirror for a receive beam on the substrate;forming a laser diode on the substrate;forming a photodete
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