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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0119402 (2012-05-24) |
등록번호 | US-9347616 (2016-05-24) |
국제출원번호 | PCT/US2012/039386 (2012-05-24) |
§371/§102 date | 20131121 (20131121) |
국제공개번호 | WO2012/166528 (2012-12-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 32 |
A fluid delivery system adapted to isolate an ampoule and/or process line during purge, including an inlet control valve connecting a source of pressurized gas to a refillable ampoule, an outlet control valve connecting the refillable ampoule to a location of use, a process control valve connecting
1. A fluid delivery system adapted to isolate an ampoule and/or process line during purge, the system comprising: an inlet control valve arranged to connect a source of pressurized gas to a refillable ampoule;an outlet control valve arranged to connect the refillable ampoule to a location of use;a p
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