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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0581973 (2010-03-11) |
등록번호 | US-9353755 (2016-05-31) |
국제출원번호 | PCT/JP2010/054140 (2010-03-11) |
§371/§102 date | 20120830 (20120830) |
국제공개번호 | WO2011/111209 (2011-09-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 7 |
A turbomolecular pump device includes: a turbomolecular pump main body; a power unit that drives the turbomolecular pump main body; and a water cooling unit that is provided between the turbomolecular pump main body and the power unit, wherein components provided in a casing of the power unit are cl
1. A power unit suitable for a turbomolecular pump device comprising a turbomolecular pump main body including a rotor with rotary vanes, stator vanes and a motor that drives the rotor to rotate, the power unit comprising: regeneration brake resistor that converts regeneration power from the motor i
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