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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0007949 (2011-01-17) |
등록번호 | US-9365435 (2016-06-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 153 |
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1. An advanced oxidation ultrapure water treatment system configured to provide treated ultrapure water to a semiconductor manufacturing unit comprising: a source of ultrapure water having a total organic carbon (TOC) concentration;an actinic radiation reactor comprising: a vessel having an inlet fl
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