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Method for the production of silicon from silyl halides 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01J-019/08
  • C01B-033/03
  • B01J-019/12
출원번호 US-0398346 (2012-02-16)
등록번호 US-9382122 (2016-07-05)
우선권정보 DE-10 2005 024 041 (2005-05-25)
발명자 / 주소
  • Auner, Norbert
출원인 / 주소
  • Spawnt Private S.à.r.l.
대리인 / 주소
    Collard & Row, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 21

초록

The present invention relates to a method for the production of silicon from silyl halides. In a first step, the silyl halide is converted, with the generation of a plasma discharge, to a halogenated polysilane, which is subsequently decomposed to silicon, in a second step, with heating.

대표청구항

1. Method for producing halogenated polysilanes from silyl halides, wherein a gas comprising a silyl halide in a gaseous state is led into a reactor and the silyl halide in the gaseous state is converted, with a generation of a plasma discharge, to a halogenated polysilane, wherein the halogenated p

이 특허에 인용된 특허 (21)

  1. Harvey ; II ; Francis J., Arc heater production of silicon involving a hydrogen reduction.
  2. Ingle William M. (Phoenix AZ) Darnell Robert D. (Phoenix AZ) Thompson Stephen W. (Rosenberg TX), Ascending differential silicon harvesting means and method.
  3. Yoon Poong (Seoul KRX) Song Yongmok (Chungnam KRX), Fluidized bed reactor with microwave heating system for preparing high-purity polycrystalline silicon.
  4. Kim Hee Y. (Daejeon KRX) Song Yong M. (Daejeon KRX) Jeon Jong Y. (Daejeon KRX) Kwon Dae H. (Daejeon KRX) Lee Kang M. (Daejeon KRX) Lee Jae S. (Daejeon KRX) Park Dong S. (Daejeon KRX), Heating of fluidized bed reactor by microwaves.
  5. Sarma Kalluri R. (Tempe AZ) Rice ; Jr. M. John (Tempe AZ), High pressure plasma hydrogenation of silicon tetrachloride.
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  7. Guha Subhendu (Troy MI) Banerjee Arindam (Madison Heights MI), Igniter for microwave energized plasma processing apparatus.
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  12. Kong, Peter C.; Detering, Brent A., Plasma reforming and partial oxidation of hydrocarbon fuel vapor to produce synthesis gas and/or hydrogen gas.
  13. Gaul John H. (Midland MI) Weyenberg Donald R. (Midland MI), Preparation of silicon metal through polymer degradation.
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  16. Rodgers Michael A. (Tempe AZ), Process for production of polycrystalline silicon.
  17. Arai Takayoshi (Nagahama JPX) Kanai Masahiro (Tokyo JPX) Kawakami Soichiro (Nagahama JPX) Murakami Tsutomu (Nagahama JPX), Process for the formation of a functional deposited film containing group IV atoms or silicon atoms and group IV atoms b.
  18. Kratel Gnter (Durach-Bechen DEX) Loskot Stefan (Kempten DEX), Process for the preparation of silicon tetrachloride.
  19. Otsuka, Toyozo; Kitsugi, Naomichi; Fujinaga, Teruo, Process of preparing silicon tetrafluoride by using hydrogen fluoride gas.
  20. Ingle William M. (Phoenix AZ) Thompson Stephen W. (Phoenix AZ), Silicon purification process.
  21. Anand Madhu (Cambridge MA) Baddour Raymond F. (Belmont MA) Cohen Robert E. (Jamaica Plain MA), Surface fluorinated polymers.
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