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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0365886 (2009-02-04) |
등록번호 | US-9387428 (2016-07-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 39 |
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1. A method of treating a flammable effluent gas from an electronic device manufacturing process, comprising the steps of: providing a first configuration and a second configuration of conduits for mixing a second gas with the flammable effluent gas, the second configuration comprising a distributio
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