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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0463757 (2012-05-03) |
등록번호 | US-9397250 (2016-07-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 95 |
According to one embodiment, a releasing apparatus for separating a semiconductor substrate from a semiconductor template, the releasing apparatus having an enclosed pressure chamber having at least one gas inlet and at least one gas outlet. A top vacuum chuck for securing a released semiconductor s
1. A releasing apparatus for separating a semiconductor substrate from a semiconductor template, comprising: an enclosed pressure chamber having at least one gas inlet and at least one gas outlet;a top vacuum chuck for securing a released semiconductor substrate or semiconductor template in said enc
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