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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0180560 (2014-02-14) |
등록번호 | US-9411332 (2016-08-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 12 |
Automated mechanical handling systems (AMHS) for integrated circuit fabrication, system computers programmed for use in the AMHSs, and methods of handling a wafer carrier having an inlet port and an outlet port are provided. An exemplary method of handling the wafer carrier includes providing a plur
1. A method of handling a wafer carrier having an inlet port and an outlet port, wherein the method comprises: providing a plurality of carrier storage positions adapted to receive the wafer carrier, wherein the carrier storage positions comprise a presence sensor, and a gas nozzle for providing a g
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