$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Gas bearing assembly for an EUV light source

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F16C-032/06
  • F16J-015/40
  • F16C-033/74
출원번호 US-0310632 (2014-06-20)
등록번호 US-9422978 (2016-08-23)
발명자 / 주소
  • Chilese, Francis C.
  • Garcia, Rudy F.
출원인 / 주소
  • KLA-Tencor Corporation
대리인 / 주소
    Simpson & Simpson, PLLC
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 10

초록

A gas bearing assembly including: a stator, a spindle rotatable about an axis, a first space between the spindle and the stator and arranged to receive a bearing gas at a first pressure, to support rotation of the spindle about the axis, a first annulus, in the stator or the spindle and arranged to

대표청구항

1. A gas bearing assembly for an EUV light source, comprising: a stator body;a spindle rotatable about the stator body with respect to an axis of rotation;a first space between the spindle and the stator body and arranged to receive a bearing gas, at a first pressure, to support rotation of the spin

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Nobuyuki Suzuki JP; Hiroyuki Yamada JP, Combined externally pressurized gas-magnetic bearing assembly and spindle device utilizing the same.
  2. Suzuki Nobuyuki,JPX ; Yamada Hiroyuki,JPX, Combined externally pressurized gas-magnetic bearing assembly and spindle device utilizing the same.
  3. Watson, Douglas C., Compensating for cable drag forces in high precision stages.
  4. Mark E. Williams, Extreme-UV scanning wafer and reticle stages.
  5. Hellriegel Walter (Jena-Neulobeda DDX), High quality objective using air bearing.
  6. Pollock John D. (Rowley MA), Linear gas bearing with integral vacuum seal for use in serial process ion implantation equipment.
  7. Janssen, Eric W. A.; Renkens, Marcel J. M.; Vijfvinkel, Jakob; Schneider, Ronald M.; Bisschops, Theo H. J.; Tabor, Rob, Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby.
  8. Asakura, Kentaro; Kawasaki, Hiroo, Mounting table structure and heat treatment apparatus.
  9. Novak W. Thomas ; Premji Zahirudeen ; Nayak Uday G. ; Ebihara Akimitsu, Precision scanning apparatus and method with fixed and movable guide members.
  10. Fujikawa Yoshio (Iwata JPX) Yamazaki Shizuka (Iwata JPX), Spindle assembly.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트