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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0052231 (2013-10-11) |
등록번호 | US-9460949 (2016-10-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 4 |
One or more apparatuses for adjusting at least one of an oxygen content or a water content in a pod and methods of their use are provided, where one or more semiconductor wafer are selectively stored within a storage chamber of the pod. The apparatus comprises the pod and a pipeline. The pod compris
1. An apparatus comprising: a pod, comprising: a storage chamber comprising a set of walls defining an interior region in which wafers are held, wherein a first wall of the set of walls defines a first opening;a receptacle disposed within the interior region and defining a second opening overlying t
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