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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0468693 (2012-05-10) |
등록번호 | US-9472450 (2016-10-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 8 |
Interconnect structures including a graphene cap located on exposed surfaces of a copper structure are provided. In some embodiments, the graphene cap is located only atop the uppermost surface of the copper structure, while in other embodiments the graphene cap is located along vertical sidewalls a
1. An interconnect structure comprising: at least one copper structure located between dielectric material portions, said at least one copper structure having sidewall surfaces, an uppermost surface and a bottommost surface; andat least one diffusion barrier material having an uppermost surface in c
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